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无尘室管理四大原则
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NEBB及洁净室测试规范概述
技术文章
无尘室管理四大原则
一、 不带入
1、 室内保持正压。
2、 建物要紧密,HPEA及框架没有泄漏。
3、 作业人员须依规定更衣经浴尘室再进入洁净室。
4、 机器.材料.工具.须经清洁方可进入洁净室。
5、 非必要之物品禁止携入
二、 不堆积
1、 不造成不易清扫的死角,机器外围要易于清除。
2、 风管及配置要避免露于室内。
3、 有计画有基准的实施清扫的工作。
三、不产生
1、
洁净室内装材料的适当选用。
2、
制程设备的发尘抑制。
3、生产自动化及人员不聚集.动作放轻。
4、
无尘衣及洁净室专用器具的使用及管理。
四、 排除
1、
换气次数须足够符合规定。
2、
污染源须有排气设备直接吸除。
3、施工后须马上清洁。
4、
气流的形成要设计得当,防止尘埃附着在产品上。
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